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    超精密单点金刚石车床具有超精密加工的特点,加工元件表面粗糙度可达纳米级,面形精度可达λ/10量级,口径最大可达到400mm,可加工各种高精度平面、球面、非球面及离轴元件和自由曲面元件。可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料。在三轴联动模式下还可加离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和自由曲面;配以特殊刀具可以实现微结构元件的加工,如各种衍射元件和菲涅尔透镜等。

 

机床特点 :

 

HPA开放式操作系统;

● 天然花岗岩基座,保证机床长久稳定性;

● 超精密高刚性空气静压主轴;

● 超精密液体静压导轨,具有较好的刚性和阻尼性;

X/Z轴均采用直线电机驱动,全闭环控制;

● 气浮支承隔振系统最大的减少外界振动干扰

 

主要技术指标:
  
机型
基本性能参数
Z/X轴最大行程
210mm
Z/X直线度
0.2μm/100mm
Z/X定位精度
0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
Z/X重复定位精度
0.3μm
Z/X分辨率
10nm
Z/X最大进给速度
20mm/s
C轴高精度气浮轴承回转精度
0.1μm
C轴转速
0-3000rpm
C轴转角定位精度
30″
C轴转角重复性定位精度
10″
 

 


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